玉崎【小王子新上市】压力控制器精品UPC-4CW2-C150H

更新时间：2024-03-19

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玉崎【小王子新上市】压力控制器精品UPC-4CW2-C150H

应用

任何压力都可以通过电信号设定。

当多个质量流量连接到一条管线时，压力会被调整，以使气体流量的快速波动不会影响其他质量流量。

可用作晶圆背面冷却的控制器。

用于下游压力控制。

特征

●工作原理：内置压力传感器，保持压力恒定。

●可通过电信号设定任意压力。

●在质量流量控制器的上游连接时，可以进行非常稳定的流量控制。

●当多个质量流量控制器连接到一条线路时，气体流量的突然波动可能会影响其他质量流量控制器。在这种情况下，使用 UPC 系列可以防止这种影响（下游压力控制型）。

●UPCUS（上游压力控制型）保持MO-CVD等液源的内部压力恒定，提高汽化量的稳定性。

●可用作晶片背面冷却的控制器。还提供带流量监控器的高温型（150°C、250°C）。

●可用于从半导体、平板显示器、太阳能电池板等技术产业到一般产业的广泛领域的压力控制。

●兼容DeviseNet TM接口（请注明）。符合 RoHS 标准：本产品符合 RoHS 规定并且是环保的。

规格

模型	UPC （下游压力控制器）		FCST1050(M) ZFFCST1050(M)ZD(DeviceNet)
压力范围	FS 13.3kPa abs.(100Torr)	FS 150/300/500kPa	FS 150/300/500kPa
控制压力范围	1 到 100%	1 至 100% *1
控制阀CV值	-	L型：0.0055 / M型：0.011 / H型：0.03
压力调节系统（自动调零后）	1～40%：±0.2%FS 40～100%：±0.5%SP	FS 150kPa abs. [1 至 40%：±0.2%FS，40 至 100%：±0.5%SP] FS 300/500kPa abs. [1 至 20%：±0.1%FS，20 至 100%：±0.5% SP]
供气压力范围	0 至 200kPaG	～897.3kPaG	-
耐压性	200kPaG	1MPaG
外部泄漏	＜1.0×10 -10 Pa･m3 /sec
使用温度范围	0～50℃（系统保证温度范围：15～35℃）*2
电源电压、电流消耗	+15VDC：120mA，-15VDC：120mA DeviceNet：+11 至 25VDC，4.0W
压力设定/输出信号	0-10VDC/0-10VDC	0-5VDC/0-5VDC
接液部分材料	SUS316L，镍钴合金	SUS316L，镍钴合金，FS9
连接配件/尺寸	1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (124mm)	1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (106, 124mm), 1.125W-Seal (92mm)