如何选择真空计

更新时间：2024-06-14

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在测量真空度时，有压力接近大气压的地方，也有压力达到超高真空的地方，所以不可能仅用一种真空计来覆盖。即使考虑到残余气体的成分，真空设备中也存在各种气体。其中，对真空计产生负面影响的典型是油蒸气、氧气、水蒸气等有机蒸气。在低真空中，空气常常残留，但在中真空和高真空中，油蒸气的比例增加。此外，有许多真空设备主要处理水蒸气，例如用于冷冻干燥的真空设备。如上所述，真空计的使用条件多种多样，因此在选择时，除了测量压力范围和目标气体外，还需要检查以下项目。 1.检查是否可以在您想要测量的压力范围内使用，并检查导致测量极限的原因。 2、真空计是否被可能测量的气体污染或损坏？ 3. 准确度够吗？米大吗？原则上有什么问题吗？ 4、真空表对气体状况有影响吗？被测气体是否有可能因反应而热分解或成分发生变化？ 5. 可以测量总压吗？灵敏度是否因气体类型而异？ 6. 连续指令还是电气指令？可以得到电力输出吗？ 7. 响应时间短吗？ 8. 稳定性、再现性、可靠性和寿命是否足够？ 9、安装、操作、维护、管理是否方便？ 10. 市售产品的可获得性、获取难度、价格等。

真空标准和可追溯性

真空度校准装置RT-8SV型

日本的真空标准（初级标准）是安装在日本产业技术综合研究所的光波干涉标准气压计（大气压～10 ² Pa，不确定度±0.7 Pa）、安装在国立电子研究所的标准气压计技术。使用安装的标准 McLeod 真空计（1.3 至 1.3 x 10 ^-2 Pa，不确定度 ± 2%）作为参考。使用标准麦克劳德真空计的校准是对日本真空协会要求的亚标准电离真空计灯泡VS-1进行的，该校准真空计具有二级标准（工作压力范围2.7×10 ^-1 ~1.3× 10 ^-4 Pa，不确定度±3%），是目前的真空计。这通常用作标准并用于校准其他实用真空计。 JISZ8750中详细说明了校准方法，对于10 ^-2 Pa至10 ^-7 Pa左右的应用，使用VS-1校准的BA真空计可从制造商处购买。如果按照这样的方式校准灵敏度，则实际使用的每台真空计的灵敏度都将达到标准。当建立这样的系统时，可追溯性被评估为已建立。