半导体晶圆片缺陷检测灯应用

更新时间：2024-03-21

浏览次数：303

LCD滤光片、偏光板。
晶圆、半导体。
玻璃或是金属表面。
上列物品的刮痕及灰尘检查。

晶圆片表面检测灯特点

特殊波长，主波长为546、578nm知黄绿光且不伤人眼。
藉由人眼对黄绿光的高感度来检查10um以下的刮痕或灰尘。
主机和光线部分为分离是可任意调整照射角度。
採用电子点灯方式，强度可任意调整
检查精密加工表面的瑕疵、污点、异物等
快速无损检测小至10微米的瑕疵、小颗粒
有效地探测出生产过程是早期的污物，节省生产时间及不必要的成本
黄色滤色片滤掉波长小于500nm的光线，防止产生荧光干扰
高对比度的光线能清晰检测到精细的表面粒子
灯头人体工学设计，易于操作